[发明专利]检查系统以及检查方法

摘要

具备：励磁方向控制单元(125)，其使用磁化器(111)来控制励磁方向，该磁化器具有2个以上的励磁线圈(111a～111d)，在圆周上等间隔地配置有与被检体(300)相对的磁腿；磁光学薄膜传感器(112)，其被配置于配置有磁化器(111)的磁腿的上述圆周的内侧区域；以及磁场图像取得单元(121)，其使用磁光学薄膜传感器(112)取得磁场图像数据。由此，能够与瑕疵形状或励磁线圈的厚度无关地抑制检测灵敏度的下降。

主权项

1.一种检查系统，其具备：检查探头和检查图像构成单元，上述检查探头具备：励磁方向控制单元，其使用磁化器来控制励磁方向，该磁化器具有3个以上的奇数个励磁线圈，在圆周上等间隔地配置有与被检体相对的磁腿；磁光学薄膜传感器，其被配置于配置有上述磁化器的磁腿的上述圆周的内侧区域；以及磁场图像取得单元，其使用上述磁光学薄膜传感器取得磁场图像数据，上述检查图像构成单元根据取得各磁场图像时流过上述励磁线圈的励磁电流的电角信息，对通过上述磁场图像取得单元得到的多个上述磁场图像进行运算处理，由此生成检查图像，其特征在于，上述检查图像构成单元具备：相位偏移图像数据生成部，其生成根据与取得上述磁场图像数据的时刻t对应的励磁电流的电角θ(t)，将上述磁场图像数据的各像素值设为振幅值A，在复平面上使用(Im,Re)＝A×exp(i×θ(t))的函数进行相位偏移，并将上述磁场图像数据的各像素值作为上述复平面上的向量而计算出的上述相位偏移图像数据，其中，符号i为虚数单位；以及相位偏移图像数据运算部，其将预先决定的周期内的一连串的上述相位偏移图像数据的各像素值在上述复平面上作为向量进行相加运算，生成将相加运算而得的向量的长度作为像素值的检查图像。