[发明专利]真空泵系统中的泵送方法和真空泵系统在审

专利信息
申请号: 201480077526.8 申请日: 2014-04-07
公开(公告)号: CN106232992A 公开(公告)日: 2016-12-14
发明(设计)人: D·穆勒;J-E·拉切尔;T·伊尔切夫 申请(专利权)人: 阿特利耶博世股份有限公司
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C18/16;F04C28/06
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司11285 代理人: 郑建晖;潘飞
地址: 暂无信息 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 一种泵送系统和泵送方法,包含:主要干式螺杆型真空泵(3),设有连接至真空室(1)的气体进入孔口(2)和气体离开孔口(4),气体离开孔口(4)在通向导管(5)之后,被导入泵送系统(SP)的气体出口(8);止回阀(6),被定位于气体离开孔口(4)与气体出口(8)之间的导管(5)中;及,喷射器(7),与止回阀(6)并联连接。启动主要干式螺杆型真空泵(3),以便将真空室(1)中包含的气体泵送通过该气体离开孔口(4)。同时,喷射器(7)被供给工作流体,并且在主要干式螺杆型真空泵(3)泵送真空室(1)中所包含的气体的整个时间期间和/或主要干式螺杆型真空泵(3)将真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间,该喷射器(7)持续被供给工作流体。
搜索关键词: 真空泵 系统 中的 方法
【主权项】:
一种真空泵系统(SP)中的泵送方法,包含:‑主要干式螺杆型真空泵(3),设有连接至真空室(1)的气体进入孔口(2)以及设有气体离开孔口(4),所述气体离开孔口(4)在通向导管(5)之后,导入真空泵系统(SP)的气体出口(8);‑止回阀(6),被定位在该气体离开孔口(4)与该气体出口(8)间的导管(5)中,及‑喷射器(7),与该止回阀(6)并联连接;该方法的特征在于,该主要干式螺杆型真空泵(3)操作,以将包含在该真空室(1)中的气体泵送通过该气体离开孔口(4);同时该喷射器(7)被供给工作流体;及在该主要干式螺杆型真空泵(3)泵送该真空室(1)中所包含的气体的整个时间期间和/或该主要干式螺杆型真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间,该喷射器(7)持续被供给工作流体。
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