[发明专利]用于在基板上印刷材料的设备在审
申请号: | 201480077737.1 | 申请日: | 2014-04-17 |
公开(公告)号: | CN106132708A | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | T·瓦塞斯 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | B41F15/42 | 分类号: | B41F15/42;B41F15/46;H01L31/00;H05K3/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | 本文公开了一种用于在基板上印刷的设备。所述设备包含材料回收装置(20)和第一线性电机,所述第一线性电机经配置以用于调整材料回收装置(20)相对于基板支座(40)的距离。进一步而言,提供一种用于在基板上印刷材料的方法,所述方法包含以下步骤:使用第一线性电机相对于基板支座(40)来定位材料回收装置(20)。 | ||
搜索关键词: | 用于 基板上 印刷 材料 设备 | ||
【主权项】:
一种用于在基板上印刷材料的设备,所述设备包括材料回收装置(20)和第一线性电机(51),所述第一线性电机(51)经配置以调整所述材料回收装置(20)相对于基板支座(40)的距离。
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