[发明专利]用于集成电路的颈缩互连熔丝结构

摘要

一种包括熔丝的互连熔丝结构以及制造这种结构的方法，该熔丝具有颈缩线段。由所施加的熔丝编程电压驱动的电流可以断开颈缩熔丝段以影响IC的操作。在实施例中，熔丝结构包括距中心互连线等距离的相邻互连线对。在其它实施例中，中心互连线以及相邻互连线至少其中之一包括横向宽度相差相同且互补的量的线段。在其它实施例中，中心互连线在颈缩线段的相对端部处被互连。在其它实施例中，利用间距减小基于间隔体的图案化工艺制造颈缩线段。

主权项

1.一种集成电路(IC)熔丝结构，包括：设置在衬底上方的互连熔丝线，所述熔丝线包括与颈缩熔丝段邻接的标称熔丝段，其中，所述标称熔丝段具有标称横向宽度，并且所述颈缩熔丝段具有小于所述标称横向宽度的颈缩横向宽度；设置在所述衬底上方并且与所述熔丝线共面的互连线对，并且所述互连线中的每一条互连线与所述标称熔丝段和所述颈缩熔丝段两者的相对边缘等距离间隔开；以及至所述熔丝线的电连接对，所述连接对包括至所述标称熔丝段的第一连接以及通过至少所述颈缩熔丝段与所述第一连接间隔开的第二连接，其中，所述互连线中的至少一条互连线是分开的，并由场区域分隔开，其中，所述场区域与所述颈缩熔丝段对齐，并且包括电介质材料。