[发明专利]对样品进行电子衍射图案分析的方法

摘要

本发明提供一种用于在显微镜的真空腔体中对样品进行电子衍射图案分析的方法。首先，使用聚焦粒子束从试样的一部分中隔离出样品。然后，将操纵器端部执行器附接至样品，以在端部执行器与样品之间实现预定取向。在样品被分离的情况下，操纵器端部执行器相对于电子束和衍射图案成像设备围绕旋转轴线旋转，以使样品形成为预定几何关系，使得能够在样品仍然被固定在操纵器端部执行器上的同时从样品中得到电子衍射图案。使电子束撞击到附接在操纵器端部执行器上的样品，从而得到电子衍射图案。

主权项

1.一种用于对样品进行电子衍射图案分析的方法，所述方法包括在真空腔体中进行如下步骤：a)使用聚焦粒子束隔离试样的一部分，以形成样品；b)将操纵器端部执行器附接至所述样品，以在所述操纵器端部执行器与所述样品之间实现预定取向；c)将样品固定到操纵器端部执行器上时使所述样品与所述试样分离，并使所述样品脱离所述试样；d)使所述操纵器端部执行器相对于电子束和衍射图案成像设备围绕旋转轴线旋转，以使所述样品形成为预定几何关系，使得能够在所述样品仍然被固定在所述操纵器端部执行器上的同时从所述样品中得到电子衍射图案；以及e)使所述电子束撞击到附接在所述操纵器端部执行器上的所述样品，并得到所述电子衍射图案。