[发明专利]用于光束转向的具有多个换能器的声光偏转器有效
申请号: | 201480078162.5 | 申请日: | 2014-05-22 |
公开(公告)号: | CN106255567B | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | C·张;A·阿列克索夫;I·A·萨拉马;T·王;A·卡尔 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/064 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈松涛;韩宏 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 描述了具有多个声换能器的声光偏转器,其适于用在基板处理中。在一个示例中,一种方法包括传输光束穿过声光偏转器,施加跨声光偏转器的多个换能器具有相位延迟的声信号,以便通过声光偏转器使光束沿着第一轴偏转,并且将经偏转的光束导引至工件上。 | ||
搜索关键词: | 用于 光束 转向 具有 多个换能器 声光 偏转 | ||
【主权项】:
1.一种将光束导引至工件的方法,所述方法包括:传输光束穿过声光偏转器;施加跨所述声光偏转器的多个换能器具有相位延迟的声信号,以便通过所述声光偏转器使所述光束沿着第一轴偏转,所述声信号包括在相邻换能器之间具有适当相移的RF信号的频率的组合,以使所述声光偏转器中的原子面在两个维度上倾斜;以及将经偏转的光束导引至工件上。
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