[发明专利]具有陶瓷平台的压力传感器有效
| 申请号： | 201480078168.2 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN106233111B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 武尔费特·德鲁斯;埃尔克·施密特;托马斯·尤林;安德烈·贝林格尔 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L13/02;G01L19/00;G01L19/06;C04B37/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;金洁 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种压力传感器，其具有：陶瓷基体(1)；布置在基体(1)上的测量膜(3、41)；包围在测量膜(3、41)下的基体(1)中的压力测量室(5)；以及，至少一个金属体，所述金属体使用耐压密闭的、优选地无弹性体的机械连接(7、37，49)连接到基体(1)，其中，通过下述事实来减小由连接(7、37，49)引起的热机械应力：使用布置在基体(1)和金属体之间的调节体(9、19、39、51)实现的耐压密闭机械连接(7、37、49)，其中，调节体具有热膨胀系数(α(z))，该热膨胀系数在从基体(1)到金属体的方向(z)上从对应于基体(1)的陶瓷的热膨胀系数(α |
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| 搜索关键词： | 具有 陶瓷 平台 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，包括：‑陶瓷平台(1)，‑测量膜(3、41)，所述测量膜(3、41)布置在所述平台(1)上，‑压力测量室(5)，所述压力测量室(5)被包围在所述测量膜(3、41)下的所述平台(1)中，和‑至少一个金属体，所述至少一个金属体经由耐压密闭机械连接(7、37、49)与所述平台(1)连接，其特征在于‑所述耐压密闭机械连接(7、37、49)包括布置在所述平台(1)和所述金属体之间的适配体(9、19、39、51)，‑所述适配体(9、19、39、51)具有下述热膨胀系数，所述热膨胀系数沿着所述适配体(9、19、39、51)在从所述平台(1)向所述金属体延伸的方向(z)上从对应于所述平台(1)的陶瓷的热膨胀系数(αk)的膨胀系数向对应于所述金属体的热膨胀系数(αM)的膨胀系数增大，并且‑所述适配体(9、19、39、51)通过第一接头(11)与所述平台(1)连接，并且通过第二接头(13)与所述金属体连接。
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