[发明专利]除污系统

摘要

提供一种不需要大口径的通道、冷凝防止的加热器等大规模的设备，即使对于多个除污对象室也能够按照各室进行长距离的配管，且能够按照各室而供给准确量的除污用气体的除污系统。其特征在于，具有压缩空气产生单元和除污液供给单元，相对于各除污对象室，分别具备混合气液调整器和气体产生器，将混合气液调整器与气体产生器连通的混合气液供给配管的搬运距离比将除污液供给单元与混合气液调整器连通的除污液供给配管的搬运距离长。

主权项

1.一种除污系统，对于两个以上的除污对象室使用除污用气体对各除污对象室的内部进行除污，其特征在于，所述除污系统具有：压缩空气产生单元，产生压缩空气；及除污液供给单元，供给成为除污用气体的产生源的除污液，所述除污系统相对于各除污对象室分别具备：混合气液调整器，调整将所述压缩空气与所述除污液混合而成的除污用混合气液；气体产生器，使所述混合气液汽化而产生除污用气体；空气供给配管，将从所述压缩空气产生单元至所述混合气液调整器之间连通；除污液供给配管，将从所述除污液供给单元至所述混合气液调整器之间连通；及混合气液供给配管，将从所述混合气液调整器至所述气体产生器之间连通，将所述压缩空气产生单元、所述除污液供给单元以及所述各混合气液调整器配设在从各除污对象室隔离的位置，将所述各气体产生器配设在各对应的除污对象室的附近或室内，由此，相对于各除污对象室所述混合气液供给配管的搬运距离比各对应的所述除污液供给配管的搬运距离长。