[发明专利]晶舟

摘要

本发明公开了一种放置并保管多个基板的晶舟。在本发明涉及的晶舟中，被支撑杆支撑的基板的荷重传递至支持部件，并通过支持部件传递至前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，由此传递至晶舟的整个部位。由于基板的荷重作用于晶舟的整个部位，因此能够防止晶舟变形。并且，固定结合有对基板进行支撑的主支撑板，主支撑板上可拆卸地结合有辅助支撑板，所述辅助支撑板对尺寸比主支撑板所支撑的基板更小的基板进行支撑。因此，根据基板的尺寸，可以将基板支撑于主支撑板或辅助支撑板。即，可以使用一个晶舟支撑不同尺寸的多种基板，因此具有节约成本的效果。

主权项

1.一种晶舟，其特征在于，呈六面体形状，上面以及下面开放，并具有前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，在内部以相互隔开间隔并且竖立的方式储存有多个基板，还包括：一对支持部件，相互对置，并隔开间隔；多个连接部件，一端部可拆卸地结合于任意一个所述支持部件，另一端部可拆卸地结合于另一个所述支持部件，从而使任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件相互连接，所述多个连接部件通过上表面支撑基板的下端面，在所述前面板、所述后面板、所述左侧面板以及所述右侧面板分别形成有用于维持气流顺畅的开放部。