[发明专利]高频电压发生装置

摘要

一种高频电压发生装置，其从直流电压生成高频电压并施加到负载，具备：第1直流电源(11)，其生成第1直流电压；第2直流电源(12)，其生成与第1直流电压不同的值的第2直流电压；过渡交流电压发生电路(13)，其生成周期比高频电压的周期短、并且电压值在第1直流电压与第2直流电压之间振动的过渡交流电压；施加电压切换部(14)，其以如下方式切换对负载的施加电压：在高频电压的一个周期期间，按第1直流电压、过渡交流电压、第2直流电压、过渡交流电压的顺序切换电压，并将刚刚施加的直流电压的值作为初始值而使过渡交流电压振动1.5以上的半整数次。通过在进行第1直流电压与第2直流电压的切换的期间施加过渡交流电压，与利用矩形波的以往的高频电压发生装置相比，能够更加缓和地进行电压的切换，由此，能够抑制噪声的产生和电力的损失。

主权项

1.一种高频电压发生装置，其从直流电压生成高频电压并施加到负载，所述高频电压发生装置的特征在于，具备：a)第1直流电压发生部，其生成第1直流电压；b)第2直流电压发生部，其生成与所述第1直流电压不同的值的第2直流电压；c)过渡交流电压发生部，其是将电感器与电容器串联连接而成的LC电路，以该第1直流电压或者该第2直流电压作为初始值而激发过渡交流电压，该过渡交流电压的周期比所述高频电压的周期短，并且将所述第1直流电压和所述第2直流电压中的一方设为最大值，将另一方设为最小值；以及d)施加电压切换部，其以如下方式切换对该负载的施加电压，即：在所述高频电压的一个周期期间，按所述第1直流电压、将该第1直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压、所述第2直流电压、将该第2直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压的顺序切换电压，使得该过渡交流电压的施加时间分别是该过渡交流电压的周期的1.5以上的半整数倍、并且比该高频电压的半周期短。