[发明专利]用于蓝宝石元件的光学检查的方法和系统在审
| 申请号： | 201480079118.6 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN106461573A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | S·德伟;S·戈弗雷 | 申请（专利权）人： | 纬图有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 酆迅 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 用于蓝宝石元件的光学检查的方法、系统、以及设备，包括：将蓝宝石元件提供给包括光导和检测设备的测量系统，其中蓝宝石元件包括表面；从相对于蓝宝石元件的表面的倾斜角度，将光束导向蓝宝石元件的表面，其中该光束由光导提供；响应于被导向蓝宝石元件的表面的光束，使用检测设备检测来自蓝宝石元件的表面的反射光束，以提供检测信号，其中检测设备被设置在蓝宝石元件的视场的上方；以及处理检测信号以确定涉及蓝宝石元件的表面的缺陷信息。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蓝宝石 元件 光学 检查 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于蓝宝石元件的光学检查的方法，所述方法包括：将所述蓝宝石元件提供给包括光导和检测设备的测量系统，其中所述蓝宝石元件包括表面；从相对于蓝宝石元件表面的倾斜角度，将光束导向所述蓝宝石元件的所述表面，其中所述光束由所述光导提供；响应于被导向所述蓝宝石元件的所述表面的所述光束，使用所述检测设备检测来自所述蓝宝石元件的所述表面的反射光束，以提供检测信号，其中所述检测设备被设置在所述蓝宝石元件的视场的上方；以及处理所述检测信号以确定涉及所述蓝宝石元件的所述表面的缺陷信息。
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