[发明专利]真空泵系统中的泵送方法以及真空泵系统在审
| 申请号： | 201480080173.7 | 申请日： | 2014-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN106662108A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | D·穆勒;J·E·拉切尔;T·伊尔切夫 | 申请（专利权）人： | 阿特利耶博世股份有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C28/02;F04C18/344 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司11285 | 代理人： | 郑建晖,关丽丽 |
| 地址： | 瑞士金*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 泵送方法和泵送系统(SP，SPP)包括一个主要润滑式叶片真空泵(3)，具有一个气体入口端口(2)和一个气体出口端口(4)，该气体入口端口连接至一个真空室(1)，该气体出口端口在通向一个导管(5)内之后通向该泵送系统(SP，SPP)的气体出口(8)内；一个单向阀(6)，被定位在该导管(5)内且在该气体出口端口(4)和该气体出口(8)之间；以及一个辅助润滑式叶片真空泵(7)，与该单向阀(6)并联地连接。该主要润滑式叶片真空泵(3)操作，以将容纳在该真空室(1)内的气体泵送通过该气体出口端口(4)；同时，该辅助润滑式叶片真空泵(7)操作，且在该主要润滑式叶片真空泵(3)泵送容纳在该真空室(1)内的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑式叶片真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定的压力的整个时间期间，该辅助润滑式叶片真空泵(7)持续地操作。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 系统 中的 方法 以及 | ||
【主权项】：
真空泵系统(SP，SPP)中的泵送方法，包括：‑一个主要润滑式回转叶片真空泵(3)，该主要润滑式回转叶片真空泵(3)具有一个气体入口端口(2)和一个气体出口端口(4)，该气体入口端口连接至一个真空室(1)，该气体出口端口在通向一个导管(5)内之后进入该真空泵系统(SP，SPP)的气体出口(8)内；‑一个单向阀(6)，被定位在该导管(5)内且在该气体出口端口(4)和该气体出口(8)之间；以及‑一个辅助润滑式回转叶片真空泵(7)，与该单向阀(6)并联地连接，该方法的特征在于：该主要润滑式回转叶片真空泵(3)被激活，以将容纳在该真空室(1)内的气体泵送通过该气体出口端口(4)；同时该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)被激活；且在该主要润滑式回转叶片真空泵(3)泵送容纳在该真空室(1)内的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑式回转叶片真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定的压力的整个时间期间，该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)持续地操作。
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