[发明专利]激光刻线用光学镜头

摘要

一种激光刻线用光学镜头，包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)，其中第一透镜(L1)和第二透镜(L2)为弯月透镜，第三透镜(L3)为双凸透镜；第一透镜(L1)包括第一曲面(S1)和第二曲面(S2)，第二透镜(L2)包括第三曲面(S3)和第四曲面(S4)，第三透镜(L3)包括第五曲面(S5)和第六曲面(S6)；第一曲面(S1)至第六曲面(S6)沿入射光线的传输方向依次排布；第一至第六曲面的曲率半径依次为：‑47±5％mm，∞，‑218±5％mm，‑81±5％mm，778±5％mm，‑142±5％mm；第一透镜、第二透镜及第三透镜的中心厚度依次为：4±5％mm，15±5％mm，18±5％mm。该激光刻线用光学镜头不仅刻线质量高，且刻线速度快，效率高于传统的光刻镜头。

主权项

1.一种激光刻线用光学镜头，其特征在于，包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜，其中所述第一透镜为平凹透镜，所述第二透镜为弯月透镜，所述第三透镜为双凸透镜；所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面；所述第一曲面至第六曲面沿入射光线的传输方向依次排布；所述第一至第六曲面的曲率半径依次为：‑47±5％mm，∞，‑218±5％mm，‑81±5％mm，778±5％mm，‑142±5％mm；所述第一透镜、第二透镜及第三透镜的中心厚度依次为：4±5％mm，15±5％mm，18±5％mm。