[发明专利]激光刻线用光学镜头有效
申请号: | 201480080729.2 | 申请日: | 2014-11-28 |
公开(公告)号: | CN106537216B | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 孙博;李家英;周朝明;陈玉庆;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 518057 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种激光刻线用光学镜头,包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3),其中第一透镜(L1)和第二透镜(L2)为弯月透镜,第三透镜(L3)为双凸透镜;第一透镜(L1)包括第一曲面(S1)和第二曲面(S2),第二透镜(L2)包括第三曲面(S3)和第四曲面(S4),第三透镜(L3)包括第五曲面(S5)和第六曲面(S6);第一曲面(S1)至第六曲面(S6)沿入射光线的传输方向依次排布;第一至第六曲面的曲率半径依次为:‑47±5%mm,∞,‑218±5%mm,‑81±5%mm,778±5%mm,‑142±5%mm;第一透镜、第二透镜及第三透镜的中心厚度依次为:4±5%mm,15±5%mm,18±5%mm。该激光刻线用光学镜头不仅刻线质量高,且刻线速度快,效率高于传统的光刻镜头。 | ||
搜索关键词: | 激光 用光 镜头 | ||
【主权项】:
1.一种激光刻线用光学镜头,其特征在于,包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜,其中所述第一透镜为平凹透镜,所述第二透镜为弯月透镜,所述第三透镜为双凸透镜;所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面,所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面,所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面;所述第一曲面至第六曲面沿入射光线的传输方向依次排布;所述第一至第六曲面的曲率半径依次为:‑47±5%mm,∞,‑218±5%mm,‑81±5%mm,778±5%mm,‑142±5%mm;所述第一透镜、第二透镜及第三透镜的中心厚度依次为:4±5%mm,15±5%mm,18±5%mm。
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