[发明专利]对基板作业装置及对基板作业系统有效
| 申请号： | 201480081797.0 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN106664824B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 山本瑞穗;藤村晋吾;高桑淳郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04;G05B19/418 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在对基板作业系统(10)中，对基板作业装置(20)的CPU(32)在本装置发生了错误的情况下发送与该错误相关的错误关联信息。并且，CPU(32)接收与其他的对基板作业装置(20)的错误相关的错误关联信息，并将接收到的错误关联信息存储于HDD(35)。并且，在检测出发生了错误的对基板作业装置(20)(其他的对基板作业装置(20))的电源切断的情况下，对显示操作部(60)进行控制，以向作业者报知基于所存储的错误关联信息的信息(其他装置错误报知画面)。由此，在发生了错误的对基板作业装置(20)的电源被切断的情况下，其他的对基板作业装置(20)能够向作业者报知与错误相关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 作业 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种对基板作业装置，用于对基板作业系统，所述对基板作业系统具备多个对基板进行作业的所述对基板作业装置，所述对基板作业装置具备：错误信息接收单元，接收与所述对基板作业系统中的其他的对基板作业装置的需要切断电源的错误相关的错误关联信息；存储单元，存储接收到的所述错误关联信息；报知单元，能够向作业者报知信息；及报知控制单元，在检测出所述其他的对基板作业装置的电源切断的情况下，对所述报知单元进行控制，以向作业者报知基于存储于所述存储单元的错误关联信息的信息。
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