[发明专利]用于测定压力测量信号的方法以及用于该方法的压力测量装置有效
| 申请号： | 201480082688.0 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN107076629B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 约恩·雅各布;伯恩哈德·韦勒 | 申请（专利权）人： | VEGA格里沙贝两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 曹正建;陈桂香 |
| 地址： | 德国沃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于测定电容式压力测量单元(1)中的压力测量信号(D)的方法，所述压力测量单元包括主体(3)和配置在所述主体(3)的前面的测量膜(5)。电极(7,9,11)配置在所述主体(3)和所述测量膜(5)上，并且在所述测量膜(5)的具有高的压力敏感性的区域中形成测量电容(C |
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| 搜索关键词： | 用于 测定 压力 测量 信号 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种用于测定电容式压力测量单元(1)中的压力测量信号(D)的方法，所述压力测量单元包括主体(3)和配置在所述主体(3)的前面的测量膜(5)，其中电极(7,9,11)配置在所述主体(3)和所述测量膜(5)上，所述各电极在所述测量膜(5)的具有高的压力敏感性的区域中形成测量电容(Cm)并在所述测量膜(5)的具有低的压力敏感性的区域中形成基准电容(Cr)，其中根据所述测量电容(Cm)和所述基准电容(Cr)的第一种估算(A1)，对所述测量电容(Cm)和所述基准电容(Cr)进行彼此独立地检测，并且在第一测量范围内测定所述压力测量信号(D)，以及根据所述基准电容(Cr)的第二种估算(A2)在第二测量范围内测定所述压力测量信号(D)，其特征在于，当根据第一种估算(A1)的所述压力测量信号(D)超过极限值(x)时，发生从第一种估算(A1)到第二种估算(A2)的转变。
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