[发明专利]高性价比的整体式旋转靶材在审
| 申请号： | 201480083194.4 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN107075664A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 细川昭弘 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了整体式旋转靶材。所述靶材包括溅射区域和凸缘区域，其中所述溅射区域由第一材料制成且所述凸缘区域由所述第一材料制成。所述溅射区域和所述凸缘区域是一体形成的。 | ||
| 搜索关键词： | 性价比 整体 旋转 | ||
【主权项】：
一种包括溅射区域和凸缘区域的整体式旋转靶材，其中所述溅射区域由第一材料制成且所述凸缘区域由所述第一材料制成，其中所述溅射区域和所述凸缘区域是一体形成的。
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