[发明专利]用于真空沉积的材料源配置与材料分布配置有效
| 申请号： | 201480083222.2 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN107078215B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·班格特;乌韦·许斯勒;安德烈亚斯·勒普;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;C23C14/12;C23C14/24;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于在真空腔室(110)中在基板(121)上沉积蒸发的材料的线性分布管(106)。线性分布管(106)包括沿着第一方向(136)延伸的分布管壳体(116)，其中第一方向提供线性分布管的线性延伸，且其中分布管壳体包括第一壳体材料。线性分布管(106)进一步包括位于分布管壳体(116)中的沿着线性分布管的线性延伸而分布的多个开孔。另外，线性分布管壳体(116)包括经构造以引导真空腔室(110)中的蒸发的材料的多个喷嘴(712)。这些喷嘴(712)包括第一喷嘴材料，第一喷嘴材料具有大于第一壳体材料和/或大于21W/mk的热传导率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 沉积 材料 配置 分布 | ||
【主权项】：
一种线性分布管(106)，用于在真空腔室(110)中将蒸发的材料沉积在基板(121)上，所述线性分布管包括：分布管壳体(116)，沿着第一方向(136)延伸，其中所述第一方向提供所述线性分布管(106)的线性延伸，其中所述分布管壳体(116)包括第一壳体材料；多个开孔，位于所述分布管壳体(116)中，其中这些开孔沿着所述线性分布管的线性延伸而分布；以及多个喷嘴(712)，用于所述线性分布管(106)，其中这些喷嘴经构造以引导所述真空腔室(110)中的所述蒸发的材料，这些喷嘴包括第一喷嘴材料，所述第一喷嘴材料具有大于所述第一壳体材料的热传导率和/或大于21W/mk的热传导率。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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