[发明专利]材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法有效
| 申请号： | 201480083861.9 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN107002223B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;奥利弗·海默尔;迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于将材料沉积在基板(121)上的真空沉积系统(300；400；500)。真空沉积系统(300；400；500)包括：真空腔室(110)，真空腔室(110)具有腔室容积；以及材料沉积布置(100)，材料沉积布置(100)用于提供将沉积的材料，材料沉积布置(100)在沉积期间位于真空腔室(110)中。真空沉积系统进一步包括基板支撑件(126；600)，基板支撑件(126；600)用于在真空腔室(110)中支撑基板(121)，基板具有基板尺寸。腔室容积对基板尺寸比是15m或更少。另外，描述一种用于在真空沉积系统(300；400；500)中将材料沉积在基板(121)上的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 材料沉积 基板 真空沉积系统 真空腔室 材料沉积系统 基板支撑件 腔室 沉积 沉积材料 方法描述 尺寸比 对基板 中支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于将材料沉积在基板(121)上的真空沉积系统(300；400；500)，所述真空沉积系统包括：真空腔室(110)，具有腔室容积；材料沉积布置(100)，用于提供将沉积的材料并且在沉积期间位于所述真空腔室(110)中，所述材料沉积布置(100)包括两个或更多个坩埚(104)和与所述坩埚(104)流体连通的线性分配管道(106a,106b,106c)；以及两个基板支撑件(126；600)，用于在所述真空腔室(110)中支撑所述基板(121)，所述基板具有由两个或更多个基板的尺寸形成的基板尺寸；其中所述腔室容积对所述基板尺寸比是15m或更少，并且其中所述基板支撑件(126；600)布置在距所述材料沉积布置(100)的出口约250mm或更少的距离处，并且不同分配管道(106a,106b,106c)的喷嘴(712)之间的距离少于50mm。
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