[其他]装置、非感应式耦合等离子体装置、等离子体、套件、仪器、反应器、振荡器、系统和火炬电极组合件有效

专利信息
申请号: 201490000803.0 申请日: 2014-04-07
公开(公告)号: CN206100590U 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: P.莫里斯罗 申请(专利权)人: 珀金埃尔默健康科学股份有限公司
主分类号: H05H1/26 分类号: H05H1/26
代理公司: 北京市柳沈律师事务所11105 代理人: 赵国荣
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本文中描述的某些实施方案涉及装置、非感应式耦合等离子体装置、等离子体、套件、仪器、反应器、振荡器、系统和火炬电极组合件。某些实施方案的装置包括火炬;和电容装置,在火炬的至少一部分外部且围绕火炬的至少一部分并接触火炬的外表面。电容装置被配置来将射频能量提供到火炬以维持所述火炬中的电容性耦合等离子体。
搜索关键词: 装置 感应 耦合 等离子体 套件 仪器 反应器 振荡器 系统 火炬 电极 组合
【主权项】:
一种装置,其特征在于:包括:火炬;电容装置,在所述火炬的至少一部分外部且围绕所述火炬的至少一部分并接触所述火炬的外表面,所述电容装置被配置来将射频能量提供到所述火炬以维持所述火炬中的电容性耦合等离子体。
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