[其他]用于工件处理的系统有效
| 申请号： | 201490000908.6 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN205595318U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 亚隆·P·威波;查理斯·T·卡尔森;麦克·河南;陆伊基·G·亚玛多;克里斯多夫·尼尔·葛兰特;詹姆斯·D·史瑞斯奈 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于工件处理的系统。所述系统包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个罩幕包括具有图案的中心部分，以及从中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于一个或更多个突出部中的固定孔并连接至上部平板的底面，使得多个罩幕的每一个中心部分与上部平板中的个别开口对准；以及偏置元件，在上部平板的底面与每一个罩幕之间产生分离力。因此，本实用新型提供能够让多个罩幕对准至多个工件的系统，此对准可以快速而不昂贵的方式完成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工件 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种用于工件处理的系统，其特征在于，包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将所述罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个所述罩幕包括具有图案的中心部分，以及从所述中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于所述一个或更多个突出部中的固定孔并连接至所述上部平板的底面，使得所述多个罩幕的每一个所述中心部分与所述上部平板中的个别所述开口对准；以及偏置元件，在所述上部平板的所述底面与每一个所述罩幕之间产生分离力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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