[其他]传感器元件有效
| 申请号： | 201490001110.3 | 申请日： | 2014-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN205879192U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01C19/5769 | 分类号： | G01C19/5769;G01C19/574;H01L41/047;H01L41/113 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种传感器元件，具备：支承用基板；与支承用基板连接的固定部；和与固定部连接的振动部。振动部通过驱动电压的施加而进行驱动振动，输出与振动状态相应的检测信号。支承用基板和固定部的至少一方具有设置在支承用基板与固定部连接的部分的绝缘膜。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 | ||
【主权项】：
一种传感器元件，具备：支承用基板；固定部，其与所述支承用基板连接；和振动部，其与所述固定部连接，通过驱动电压的施加而进行驱动振动，输出与振动状态相应的检测信号，所述支承用基板和所述固定部的至少一方具有设置在所述支承用基板和所述固定部连接的部分的绝缘膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于，未经许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201490001110.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于检查对象的系统
- 下一篇：具有壳体护罩的超声流量计
- 同类专利
- 专利分类
