[其他]移位传感器

摘要

本实用新型的目的是抑制由光接收部接收的光量的减少。一种移位传感器(10)，包括：偏振光束分光器(23)，其将检测光和反射检测光分光；和偏振光束分光器(25)，其将入射到变焦镜(27)的光和反射光分光，并且移位传感器设置有法拉第旋转器(24)和四分之一波片(26)，以改变检测光和反射检测光的偏振。通过法拉第旋转器(24)和四分之一波片(26)将由偏振光束分光器(23、25)分光的两个光束的偏光角度设定为偏振光束分光器的P偏振光和S偏振光。结果，偏振光束分光器(23、25)能够将两个光束分光，并且抑制由偏振光束分光器(23、25)分光且由光接收部接收的光量减少。

主权项

一种移位传感器，包括：光投射部，该光投射部发射处于第一偏光状态的检测光；第一分光部件，该第一分光部件具有将入射光分成具有第一偏光状态的光和具有第二偏光状态的光并且将其发射的性质，并且该第一分光部件使从所述光投射部入射的处于第一偏光状态的检测光透过；第一偏光旋转部件，该第一偏光旋转部件使从所述第一分光部件入射的处于所述第一偏光状态的所述检测光旋转为处于第三偏光状态的检测光；反射部件，该反射部件配置在从所述第一偏光旋转部件到测量目标的光路上，并且该反射部件与光轴的方向垂直地配置；第二分光部件，该第二分光部件具有将入射光分成具有第三偏光状态的光和具有第四偏光状态的光并且将其发射的性质，该第二分光部件使从所述第一偏光旋转部件入射的处于第三偏光状态的检测光透过、并且使其引导到所述反射部件，该第二分光部件使由所述反射部件反射的检测光引导到所述测量目标，并且该第二分光部件使由所述测量目标反射的反射检测光在光路上在相反方向上引导，所述检测光沿着所述光路引导到所述测量目标；光接收部，该光接收部通过所述第一偏光旋转部件和所述第一分光部件接收从所述第二分光部件入射的所述反射检测光；第二偏光旋转部件，该第二偏光旋转部件配置在从所述第二分光部件到所述反射部件的光路上；移动控制器，该移动控制器使所述检测光的焦点位置在所述光轴的方向上移动；以及位置判定单元，该位置判定单元根据由所述光接收部接收的光量判定所述测量目标的在所述光轴的方向上的位置，其中，所述第二偏光旋转部件使从所述第二分光部件入射的处于第三偏光状态的检测光旋转为处于所述第四偏光状态的检测光、并且使其返回到所述第二分光部件，并且从所述第二偏光旋转部件入射的处于第四偏光状态的检测光通过所述第二分光部件从而引导到所述测量目标，并且通过所述第二分光部件作为处于第四偏光状态的反射检测光，从而再次发射到所述反射部件，其中，所述第二偏光旋转部件还使从所述第二分光部件入射的处于第四偏光状态的检测光旋转为处于第三偏光状态的检测光并且使其返回到所述第二分光部件，并且从所述第二偏光旋转部件入射的处于第三偏光状态的反射检测光通过所述第二分光部件，从而发射到所述第一偏光旋转部件，其中，所述第一偏光旋转部件使从所述第二偏光旋转部件入射的处于第三偏光状态的检测光旋转为处于第二偏光状态的检测光，并且其中，所述第一分光部件使从所述第一偏光旋转部件入射的处于第二偏光状态的检测光透过，并且使其引导到所述光接收部。