[其他]半导体装置

摘要

第1导电型半导体衬底(7)上设有表面(SF)，该表面具有4个角(CN)。表面(SF)具有主部(PM)和包围主部(PM)的周边部(PP)。周边部(PP)具有外周部(PPo)和包围外周部(PPo)的终端部(PPt)。终端部(PPt)具有位于各角(CN)的4个角部(PC)。主掺杂区域(2)设置于主部(PM)，为第2导电型，且具有一个面积。多个副掺杂区域(1)彼此分离，分别设置于角部(PC)中的至少2个角部，且与主掺杂区域(2)分离，该多个副掺杂区域为第2导电型，且具有小于所述一个面积的总面积。主电极(6)在表面(SF)上与主掺杂区域(2)邻接，且与副掺杂区域(1)分离。周边电极(41)与各副掺杂区域(1)邻接。

主权项

一种半导体装置，其特征在于，包括第1导电型的半导体衬底，该半导体衬底被设有具有4个角的表面，所述表面具有主部和包围所述主部的周边部，所述周边部具有外周部和包围所述外周部的终端部，所述终端部具有分别位于各所述角的4个角部，所述半导体装置还包括：主掺杂区域，其被设置于所述主部，且具有不同于所述第1导电型的第2导电型，且其在所述表面上具有一个面积；彼此分离的多个副掺杂区域，其与所述主掺杂区域分离而被分别设置于所述角部中的至少2个角部，且其具有所述第2导电型，且在所述表面上具有比所述一个面积小的总面积；主电极，其在所述表面上与所述主掺杂区域邻接，且与所述副掺杂区域分离；层间绝缘膜，其在所述周边部上覆盖所述副掺杂区域之间的部分；和周边电极，其与所述主电极分离而设置在设有所述层间绝缘膜的所述周边部上，且分别与各所述副掺杂区域邻接。