[其他]阴极电弧等离子体沉积系统中使用的电弧离子蒸发器的过滤装置有效
| 申请号： | 201490001531.6 | 申请日： | 2014-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN207489804U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 苏拉萨克·苏仁峰 | 申请（专利权）人： | 苏拉萨克·苏仁峰 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 叶勇 |
| 地址： | 泰国*** | 国省代码： | 泰国;TH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于通过使用彼此平行设置的多管来从等离子体束中过滤掉大颗粒来改善来自电弧离子蒸发器或阴极电弧源的等离子束的质量的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧离子 蒸发器 等离子体沉积系统 等离子体束 阴极电弧源 彼此平行 等离子束 过滤装置 阴极电弧 大颗粒 多管 过滤 | ||
【主权项】：
从电弧离子蒸发器中过滤等离子体的装置，其使用平行多管从所述电弧等离子器的等离子束中过滤分离出包括大颗粒的中性颗粒；所述平行多管包括最内层管(105)、邻近管(106)、彼此平行设置的次邻近管(107)，最内层管(105)、邻近管(106)、次邻近管(107)包含在最外层管(103)内；所述邻接管的数目(或数量)依赖于设计者的需要，可以是无限数量的；例如，其在最外层管内可以只有一个最内层管，或其在最内层管和最外层管之间可以由成百上千个邻近管；并且为了更好的等离子体传输，电螺线管线圈(104)围绕所述最外层管安装，从而产生的磁场(或螺线管磁场)更有效地将等离子体引导出所述过滤系统。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏拉萨克·苏仁峰，未经苏拉萨克·苏仁峰许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201490001531.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型石英等离子管
- 下一篇：一种加热装置
