[发明专利]传感器有效
| 申请号： | 201510000425.7 | 申请日： | 2015-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105819390B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 裘进 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 201815 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传感器，包括一外框及一第一弹性悬臂梁组，所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁两端分别与一内部构件及所述外框连接，用于将所述内部构件连接至所述外框，所述外框包括一框体及至少一缓冲部，每一所述缓冲部包括一固定部及一第二弹性悬臂梁组，所述固定部与一设置在基板衬底上的锚点固定连接，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的两端分别与所述固定部及所述框体连接，用于将所述缓冲部连接至所述框体，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的轴向与所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁的轴向垂直。本发明优点在于，降低工作频率的改变量，甚至保持工作频率不变，提高传感器的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括一外框及一第一弹性悬臂梁组，所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁两端分别与一内部构件及所述外框连接，用于将所述内部构件连接至所述外框，其特征在于，所述外框包括一框体及至少一缓冲部，每一所述缓冲部包括一固定部及一第二弹性悬臂梁组，所述固定部与一设置在基板衬底上的锚点固定连接，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的两端分别与所述固定部及所述框体连接，用于将所述缓冲部连接至所述框体，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的轴向与所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁的轴向垂直；所述第二弹性悬梁组包括两个第二弹性悬臂梁，所述两个弹性悬臂梁设置在所述固定部的两端，且所述两个第二弹性悬臂梁沿其轴向方向相向地对称设置。
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