[发明专利]基于氧化石墨烯的三维集成电容式温湿度传感器及其制法有效
申请号: | 201510001576.4 | 申请日: | 2015-01-04 |
公开(公告)号: | CN104697661B | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 黄见秋;邢朝进 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01K7/34 | 分类号: | G01K7/34;G01N27/22 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人: | 黄成萍 |
地址: | 214135 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于氧化石墨烯的三维集成电容式温湿度传感器及其制法,本传感器从下至上包括衬底,下叉指电极对、温敏氧化石墨烯层、下隔离层、中间电极、上隔离层、上叉指电极对和湿敏氧化石墨烯层;下叉指电极对、温敏氧化石墨烯层、下隔离层构成温度敏感电容,上隔离层,上叉指电极对和湿敏氧化石墨烯层构成湿度敏感电容;下隔离层对温敏氧化石墨烯层形成完整的包封,防止湿气对温敏氧化石墨烯层产生影响;中间电极接地,使得温度敏感电容和湿度敏感电容相互隔离。温度敏感电容和湿度敏感电容采用三维叠层集成结构,节约芯片面积,同时温度敏感电容可以用于对湿度敏感电容进行温度补偿。 | ||
搜索关键词: | 基于 氧化 石墨 三维 集成 电容 温湿度 传感器 及其 制法 | ||
【主权项】:
一种基于氧化石墨烯的三维集成电容式温湿度传感器,其特征在于:包括由下至上依次设置的衬底(1)、下叉指电极对(2)、温敏氧化石墨烯层(3)、下隔离层(4)、中间电极(5)、上隔离层(6)、上叉指电极对(7)和湿敏氧化石墨烯层(8),下叉指电极对(2)、温敏氧化石墨烯层(3)和下隔离层(4)构成温度敏感电容,上隔离层(6)、上叉指电极对(7)和湿敏氧化石墨烯层(8)构成湿度敏感电容;下隔离层(4)完全包覆温敏氧化石墨烯层(3),防止湿气对温敏氧化石墨烯层(3)产生影响;中间电极(5)接地,使得温度敏感电容和湿度敏感电容相互隔离。
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