[发明专利]一种DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头无效
| 申请号： | 201510001926.7 | 申请日： | 2015-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN104536120A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 邓钦元;周毅;司新春;刘俊伯;胡松;杨勇;程依光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/22 | 分类号： | G02B13/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头，从入射方向开始依次设置有8枚镜片，分别为L1～L8，其中物面到光阑之间有4块镜片，镜片L3与L4胶合，光阑到像面之间有4块镜片，镜片L5与L6胶合，光栏对称构成一个双远心光路。其光路结构为双远心光路，放大倍率为β＝-0.37x，即缩小了2.73倍。物方数值孔径为NA＝0.0225，物方视场为Φ25mm，分辨力为σ＝5um。该镜头设计的工作波段为365±10nm，所使用的玻璃材料全部来自成都光明光电有限公司。本发明使用比较少的镜片，就可以达到比较理想的分辨率，该镜头体积小，拆装简单，使用十分方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dmd 无掩模 光刻 投影 物镜 镜头 | ||
【主权项】：
一种DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头，其特征是：从入射方向开始依次设置有8枚镜片，分别为L1～L8，其中物面到光阑之间有4块镜片，镜片L3与L4胶合，光阑到像面之间有4块镜片，镜片L5与L6胶合，光栏对称构成一个双远心光路。
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