[发明专利]一种基于石墨烯的加速度传感器有效
| 申请号： | 201510001977.X | 申请日： | 2015-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN104502631B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 王振中 | 申请（专利权）人： | 厦门烯成石墨烯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361015 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯的加速度传感器，所述加速度传感器包括表面绝缘的衬底，所述衬底的四周分别设有一片石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜两端分别设有一个金属导电电极，所述加速度传感器还包括一个封装腔，所述封装腔与衬底对应形成一个密闭的腔体，所述腔体内填充有气体。本发明所述的基于石墨烯的加速度传感器利用气体浓度变化以及石墨烯吸附气体的电阻响应来实现对加速度的测量，具有结构简单、响应时间短、灵敏度高和稳定性强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述加速度传感器包括表面绝缘的衬底，所述衬底的四周分别设有一片石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜两端分别设有一个金属导电电极，所述加速度传感器还包括一个封装腔，所述封装腔与衬底对应形成一个密闭的腔体，所述腔体内填充有气体，所述气体为具有吸电子效应的气体或者具有共轭给电子效应的气体。
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