[发明专利]用于结构照明显微术的图像序列和评估方法及系统

摘要

一种用于结构照明显微术的图像序列和评估方法及系统。在用于确定标本的表面上的多个空间位置的高度的方法及装置中，将光束投射在表面上。光束具有在垂直于光束的光轴的至少两个方向上是周期性的并且被移动到不同的空间图案位置的空间图案。在不同扫描位置处沿着光轴扫描表面。在随后的空间图案位置之间的移动距离、与随后的扫描位置之间的扫描距离之间存在固定关系。利用具有对应的空间图案位置的空间图案在扫描位置处检测由表面反射的光。根据用于表面的每个空间位置的检测到的光，确定对应于扫描位置的强度值的包络曲线。选择包络曲线的最大值以及其对应的扫描位置，其代表表面的空间位置的高度。分别在第一和第二方向上通过1/4和1/n图案波长的距离在2n个步阶(n>2)的序列中移动所述空间图案。

主权项

1.一种用于确定标本(8)的表面(9)上的多个空间位置的高度的方法，该方法包含以下步骤：将光束(3)投射在表面(9)上，所述光束(3)具有在垂直于所述光束(3)的光轴的至少两个方向上是周期性的空间图案；将所述空间图案移动到不同的空间图案位置；在不同的扫描位置处沿着所述光轴扫描表面(9)，其中，在随后的空间图案位置之间的移动距离、与随后的扫描位置之间的扫描距离之间存在固定关系，所述固定关系使得在每个扫描位置处，空间图案的预定相位被设置；利用具有对应的空间图案位置的空间图案在扫描位置处检测由表面(9)反射的光；根据用于表面(9)的每个空间位置的检测到的光，确定对应于扫描位置的强度值的包络曲线；以及选择包络曲线的最大值以及其对应的扫描位置，所述扫描位置代表表面(9)的空间位置的高度，其中，所述空间图案是在所述至少两个方向上具有图案波长的正弦图案，在2n个步阶的序列中移动所述空间图案，其中n>2，通过将涉及开始空间图案位置、以及下一个空间图案位置的以下步骤(a)至(c)重复n次来移动所述空间图案：(a)相对于开始空间图案位置，在第一空间方向上通过1/4图案波长的第一移动距离来移动空间图案；(b)相对于开始空间图案位置，在第二空间方向上通过1/n图案波长的第二移动距离来将空间图案移动至下一个空间图案位置；以及(c)使该下一个位置成为开始空间图案位置。