[发明专利]高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管有效

专利信息
申请号: 201510003131.X 申请日: 2015-01-05
公开(公告)号: CN105826371B 公开(公告)日: 2018-11-27
发明(设计)人: 张广胜;张森;卞鹏;胡小龙 申请(专利权)人: 无锡华润上华科技有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/423
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 邓云鹏
地址: 214028 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管,包括衬底,还包括形成于衬底上的N型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管,以及形成于N型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的漏极的P型金属氧化物半导体场效应管;P型金属氧化物半导体场效应管的栅极作为高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的栅极;P型金属氧化物半导体场效应管的漏极作为高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的漏极;N型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的源极作为高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的源极。上述高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的工艺简单且成本较低,并具有耐高压性能。
搜索关键词: 高压 横向 扩散 金属 氧化物 半导体 场效应
【主权项】:
1.一种高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管,包括衬底,其特征在于,还包括形成于所述衬底上的N型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管,以及形成于所述N型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的漏极的P型金属氧化物半导体场效应管;所述P型金属氧化物半导体场效应管的栅极作为所述高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的栅极;所述P型金属氧化物半导体场效应管的漏极作为所述高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的漏极;所述N型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的源极作为所述高压P型横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的源极。
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