[发明专利]一种红外高温计使用的观察窗装置有效
申请号: | 201510004173.5 | 申请日: | 2015-01-06 |
公开(公告)号: | CN104499057A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 张云伟;李百泉;何丽娟;李海飞;樊中华;翟德云 | 申请(专利权)人: | 北京华进创威电子有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;G01J5/00 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 尹振启 |
地址: | 101111 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种红外高温计使用的观察窗装置,包括安装座和水冷套筒,红外高温计设置在安装座上,水冷套筒连接在安装座与单晶炉之间,水冷套筒的内腔与所述单晶炉的炉腔相连接,水冷套筒的内腔外侧设置有水夹层;安装座包括第一调节底座和第二调节底座,通过控制第一调节底座和第二调节底座,使红外高温计对准单晶炉内的测温点。本发明采用水冷隔温,双调节底座调节,避免了将红外高温计直接固定在晶体生长炉上而不能随意调整测温点的缺点,降低了工作温度,操作方便、测量可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外 高温 使用 观察窗 装置 | ||
【主权项】:
一种红外高温计使用的观察窗装置,其特征在于,该观察窗装置包括安装座和水冷套筒,红外高温计设置在所述安装座上,所述水冷套筒连接在安装座与单晶炉之间,水冷套筒的内腔与所述单晶炉的炉腔相连接; 其中,水冷套筒的内腔外侧设置有水夹层;安装座包括第一调节底座和第二调节底座,所述第一调节底座和所述第二调节底座上均设置有观察孔,第一调节底座设置在水冷套筒的远离单晶炉的端部,第二调节底座安装在第一调节底座上,红外高温计固定在所述第二调节底座上,第一调节底座与第二调节底座之间、第一调节底座与水冷套筒之间分别通过多个垂直于水冷套筒轴线方向的调节螺栓固定,并通过控制调节螺栓的伸缩长度调整红外高温计的位置,使其透过两个所述观察孔和水冷套筒的内腔检测所述单晶炉内测温点的温度;水冷套筒的内腔、第一调节底座的观察孔或者第二调节底座的观察孔设置有由玻璃或石英制成的气密封隔片,在不影响红外高温计测量的同时保证单晶炉内的真空度。
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