[发明专利]一种二自由度压电驱动纳米定位平台有效
| 申请号： | 201510004567.0 | 申请日： | 2015-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN104595642A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;孙玉琼 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/18 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二自由度压电驱动纳米定位平台，包括：XY运动平台本体通过X轴方向的全柔顺机构、Y轴方向的全柔顺机构以及十字花型XY解耦机构与基座连接；XY运动平台本体和基座的侧面分别安装有检查其X方向和Y方向运动的激光尺平面反射镜，激光尺平面反射镜分别与检测X、Y方向的激光尺读数头配合共同完成纳米定位平台两个自由度运动的检测与反馈；压电陶瓷驱动器分别镶嵌在X轴方向的全柔顺机构和Y轴方向的全柔顺机构中。本发明有益效果：利用柔性铰链作为运动副，通过其微形变来传递和解耦运动，减小了装配过程中引入的间隙误差，提高了运动传递的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 压电 驱动 纳米 定位 平台 | ||
【主权项】：
一种二自由度压电驱动纳米定位平台，其特征是，包括：基座、X轴方向的全柔顺机构、Y轴方向的全柔顺机构、十字花型XY解耦机构、XY运动平台本体、压电陶瓷驱动器以及激光尺平面反射镜；所述XY运动平台本体通过X轴方向的全柔顺机构、Y轴方向的全柔顺机构以及十字花型XY解耦机构与所述基座连接；所述XY运动平台本体和基座的侧面分别安装有检查其X方向和Y方向运动的激光尺平面反射镜，所述激光尺平面反射镜分别与检测X、Y方向的激光尺读数头配合共同完成纳米定位平台两个自由度运动的检测与反馈；所述压电陶瓷驱动器分别镶嵌在X轴方向的全柔顺机构和Y轴方向的全柔顺机构中，用于驱动XY运动平台本体的二维运动。
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