[发明专利]微区加热装置

摘要

本发明涉及材料科学实验技术领域，尤其涉及一种微区加热装置，通过加热源经具有一通孔的掩模板对样品进行加热，并通过一位移控制设备改变样品与掩模板的相对位置，以满足材料样品生产中对同一加热样品的不同位置加热到不同温度的要求，以充分发挥高通量组合材料实验技术在分立热力学样品研究中的应用，并以较低的成本实现组合材料芯片中大量微小样品的分立热力学条件研究。

主权项

1.一种微区加热装置，其特征在于，所述装置包括：掩模板，所述掩模板具有一贯穿其上下表面的通孔；加热源，设于所述掩模板的正下方且始终对准所述通孔；位移控制设备，所述设备设有一悬臂托架，所述悬臂托架连接所述加热源和所述掩模板，以同时带动所述加热源和所述掩模板进行移动；或所述悬臂托架连接置于所述掩模板正上方的一样品，以带动所述样品进行移动；其中，所述掩模板面积大于所述加热源在掩模板处的辐射热投影面积；所述掩模板 的所述通孔的内壁上镀有一层高反射率金属膜；或所述掩膜板的所述通孔呈上窄下宽的梯形；对准所述通孔且位于所述掩模板的下表面还设有一热电偶，所述热电偶电连接所述加热源，与所述加热源形成温度反馈回路；所述掩模板正对所述加热源的表面上镀有一层高反射率金属膜，且所述高反射率金属膜覆盖所述掩模板上除通孔以外区域的表面，以屏蔽除通孔以外区域的所述加热源的辐射波；所述掩模板背离所述加热源的表面上镀有一层低发射率材料或涂层，且所述低发射率材料或涂层覆盖所述掩模板上除通孔以外区域的表面，以降低所述掩模板对通孔以外区域正对的所述样品的辐射功率。