[发明专利]电可编程熔丝结构及其形成方法

摘要

本发明提供一种电可编程熔丝结构及其形成方法，其中电可编程熔丝结构包括：阳极；阴极；熔丝，所述熔丝包括与阳极连接的阳极连接端，以及与阴极连接的阴极连接端；所述熔丝位于阴极连接端的部分经过离子掺杂并具有压应力；所述熔丝位于阳极连接端的部分具有拉应力。电可编程熔丝结构的形成方法包括：形成阳极和阴极；形成一端连接阳极，且另一端连接阴极的熔丝，所述熔丝包括与阳极连接的阳极连接端，以及与阴极连接的阴极连接端；在所述熔丝的阳极连接端上形成拉应力区；对所述熔丝的阴极连接端进行掺杂，以在熔丝的阴极连接端形成压应力区。本发明的有益效果在于，降低电编程熔丝的编程功耗，同时缩短编程耗时。

主权项

一种电可编程熔丝结构的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底，在所述衬底上形成阳极、阴极以及与阳极和阴极相连的熔丝，所述熔丝包括与阳极连接的阳极连接端，以及与阴极连接的阴极连接端；对所述阴极连接端进行离子掺杂，以在所述阴极连接端形成压应力区；在所述阳极连接端形成拉应力区。