[发明专利]泡生法蓝宝石长晶设备的高精度全量程称重系统

摘要

公开一种泡生法蓝宝石长晶设备的高精度全量程称重系统，设置容腔和顶盖，容腔底部设置圆形开口，并连接籽晶杆套筒，籽晶杆套筒上设置支撑圆台，还包括晶升平台，容腔内设置高精度称重传感器，吸合装置和籽晶杆支架，吸合装置的顶面通过长颈螺栓与顶盖连接，可以上下移动，吸合装置的底面固定连接所述的高精度称重传感器，高精度称重传感器的底面固定连接籽晶杆支架，还设置至少两个低精度的大量程称重传感器，晶升平台上设置圆形通孔，大量程称重传感器对称设置在晶升平台的圆形通孔周围，籽晶套筒居中穿过所述的晶升平台的圆形通孔，籽晶杆套筒的支撑圆台安装在大量程称重传感器上，还设置电子装置与吸合装置，高精度称重传感器和大量程称重传感器连接。

主权项

泡生法蓝宝石长晶设备的高精度全量程称重系统，设置起到容纳作用的容腔，所述的容腔顶部设置起到密封作用的顶盖，所述的容腔底部设置圆形开口，并连接籽晶杆套筒，所述的籽晶杆套筒上设置支撑圆台，还包括可以上下运动的晶升平台，其特征在于：所述的容腔内设置小量程的高精度称重传感器，吸合装置和籽晶杆支架，所述的吸合装置的顶面通过长颈螺栓与所述的顶盖连接，并可以上下移动，所述的吸合装置的底面通过螺栓固定连接所述的高精度称重传感器，所述的高精度称重传感器的底面通过螺栓固定连接所述的籽晶杆支架，还设置至少两个低精度的大量程称重传感器，所述的晶升平台上设置圆形通孔，所述的大量程称重传感器对称设置在所述的晶升平台的圆形通孔周围，所述的籽晶套筒居中穿过所述的晶升平台的圆形通孔，所述的籽晶杆套筒的支撑圆台安装在所述的大量程称重传感器上，还设置电子装置，所述的电子装置连接所述的吸合装置，高精度称重传感器和大量程称重传感器，所述的电子装置执行称重算法，所述的称重算法包括：1）在引晶之前，所述的电子装置控制所述的吸合装置处于工作状态，与所述的顶盖吸合，所述的电子装置采集所述的高精度称重传感器的重量数据，并记为G0；2）在引晶过程中，所述的电子装置控制所述的吸合装置保持工作状态，所述的电子装置采集所述的高精度称重传感器的重量数据 G，并计算蓝宝石晶体重量为G‑ G0；3）引晶结束时，所述的电子装置采集高精度称重传感器的重量数据G1，计算此时的蓝宝石晶体重量G1‑ G0，所述的电子装置采集大量程称重传感器的重量数据，得到重量G'0；4）引晶结束后，所述的电子装置控制所述的吸合装置退出工作状态，与所述的顶盖分离，所述的电子装置采集大量程称重传感器的重量数据G'，计算蓝宝石晶体的重量G'‑ G'0+G1‑ G0。