[发明专利]一种La2O3-WO3氧化物半导体丙酮气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510012869.2 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104502417A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 卢革宇;冯昌浩;孙彦峰;孙鹏;郑杰 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 张景林;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种La2O3-WO3氧化物半导体丙酮气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。由正面带有2个分立的L形金电极的Al2O3绝缘陶瓷板、涂覆在Al2O3绝缘陶瓷板正面和L形金电极上的半导体敏感材料、Al2O3绝缘陶瓷板背面带有的氧化钌加热层、在氧化钌加热层上设置的2个分立的矩形金电极组成；半导体敏感材料为La2O3-WO3氧化物半导体，厚度为10～30μm，该敏感材料是采用静电纺丝技术制备得到，经煅烧、涂覆、热压在2个L形金电极和Al2O3绝缘陶瓷板的正面。本发明所得到的传感器除了具有较高的灵敏度外，还具有较快的响应速度和较好的重复性。该传感器的检测下限为0.8ppm，可用于室内环境中丙酮气体含量的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 la sub wo 氧化物 半导体 丙酮 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种La2O3‑WO3氧化物半导体丙酮气体传感器，由正面带有2个分立的L形金电极(5)的Al2O3绝缘陶瓷板(1)、涂覆在Al2O3绝缘陶瓷板(1)正面和L形金电极(5)上的半导体敏感材料(2)、Al2O3绝缘陶瓷板(1)背面带有的氧化钌加热层(3)、在氧化钌加热层(3)上设置的2个分立的矩形金电极(6)组成；每个L形金电极(5)和每个矩形金电极(6)都通过金浆分别焊接有1条铂线(4)作为电极引线；其特征在于：半导体敏感材料(2)为La2O3‑WO3氧化物半导体，厚度为10～30μm，该敏感材料是采用静电纺丝技术制备得到，经煅烧、涂覆、热压在2个L形金电极(5)和Al2O3绝缘陶瓷板(1)的正面。
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