[发明专利]一种a面蓝宝石的刻蚀方法有效

专利信息
申请号: 201510013617.1 申请日: 2015-01-12
公开(公告)号: CN104658887B 公开(公告)日: 2017-08-25
发明(设计)人: 邹军;房永征;李龙;孙孪鸿;张灿云 申请(专利权)人: 上海应用技术学院
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司31001 代理人: 吴宝根,马文峰
地址: 200235 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开一种a面蓝宝石的刻蚀方法,即首先将a面蓝宝石在加热到温度160℃的由浓硫酸和浓磷酸组成的混合酸中保持20min,然后自然冷却,将混合酸倒出来,最后取出a面蓝宝石依次经酒精清洗、超声清洗、吹干,即得经酸处理后的a面蓝宝石;将片状固体NaOH加热至温度为325‑340℃至其全部融化澄清,将所得的经酸处理后的a面蓝宝石放入其中,保持温度为325‑340℃持续10min后,直接用镊子立刻取出a面蓝宝石或将烧杯中的NaOH迅速倒出来后将a面蓝宝石取出,再依次经酒精清洗、超声清洗、吹干,即完成了a面蓝宝石的刻蚀。该刻蚀方法所得a面蓝宝石品质优良。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 刻蚀 方法
【主权项】:
一种a面蓝宝石的刻蚀方法,其特征在于具体包括如下步骤:(1)、按体积比计算,浓硫酸:浓磷酸为3:1的比例,将浓硫酸和浓磷酸混合后,所得的混合酸加热到温度160℃后,将a面蓝宝石放入其中,保持温度为160℃持续20min,然后自然冷却,将混合酸倒出来,最后取出a面蓝宝石,首先经过酒精的清洗,然后控制30℃,40KHZ的条件进行超声清洗,最后吹干,即得经酸处理后的a面蓝宝石;所述浓硫酸的质量百分比浓度为95‑98%,所述浓磷酸为质量百分比浓度为85%的磷酸水溶液;(2)、将片状固体NaOH放入到容器中加热至温度为325‑340℃至其全部融化澄清,将步骤(1)所得的经酸处理后的a面蓝宝石放入其中,保持温度为325‑340℃持续10min后,直接用镊子立刻取出a面蓝宝石或将容器中的NaOH迅速倒出来后将a面蓝宝石取出,取出的a面蓝宝石首先经过酒精的清洗,然后进行超声清洗,最后吹干,即完成了a面蓝宝石的刻蚀。
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