[发明专利]一种浮法在线常压化学气相沉积镀膜反应器

摘要

本发明公开了一种浮法在线常压化学气相沉积镀膜反应器，包括保温外壳和底板，所述的保温外壳内设有进气室和排气室，底板上设有与进气室连通的狭缝以及与排气室连通的排气口，所述的保温外壳中还设有预混室和废气室，预混室连接镀膜前驱气体进气管，且预混室嵌装在废气室中，排气室接入所述的废气室，进气室经进气通道与所述的预混室连通；所述的进气室布置在底板上方，且为沿气流方向逐渐扩宽的广口状，进气室内安装有混流挡板，用于形成上下起伏的气流；所述的排气室为上粗下细结构，排气室内安装有集尘板。本发明的混气室结构有利于形成多进多排的稳定的气流走向并强化预热，方便调节流量，增加镀膜效率，从而提高镀膜的质量。

主权项

一种浮法在线常压化学气相沉积镀膜反应器，包括保温外壳和底板，所述的保温外壳内设有进气室和排气室，底板为钢板，底板上设有与进气室连通的狭缝以及与排气室连通的排气口，其特征在于，所述的保温外壳中还设有预混室和废气室，预混室连接镀膜前驱气体进气管，且预混室嵌装在废气室中，排气室接入所述的废气室，进气室经进气通道与所述的预混室连通；所述的进气室布置在底板上方，所述进气室的两侧设有束流挡板，用于在进气室内形成沿气流方向逐渐扩宽的广口状腔体，广口状腔体的一端衔接所述的进气通道，另一端连通所述的狭缝；进气室内交替安装有齿状结构的混流挡板，用于形成上下起伏的气流；所述的排气室为上粗下细结构，排气室内安装有开口朝上的V型板作为集尘板，呈层叠分布，且相邻两层错位布置。