[发明专利]模具模芯的制备方法、模具模芯及生物芯片

摘要

本发明实施例涉及一种模具模芯的制备方法、模具模芯及生物芯片，包括：对涂胶玻璃板依次进行光刻、显影、去胶、溅射和电铸，得到具有多个生物芯片的微纳米流道结构的母盘；对母盘进行线切割，得到单个生物芯片的电铸模切割块，电铸模切割块包括一个微纳米流道结构；对第二基板依次进行机械加工、电火花加工和线切割，制得电铸模切割块的第一固定板；对第三基板依次进行机械加工、电火花加工和线切割，制得电铸模切割块的第二固定板；对第一固定板、电铸模切割块和第二固定板进行组合，形成组合件；通过紧固件将组合件固定在模具底板上，得到模具模芯。由此，可提高模具的制造效率及模具型腔的精度，实现一般机械加工无法实现的模具的微纳米结构。

主权项

一种模具模芯的制备方法，其特征在于，所述方法包括：对涂胶玻璃板依次进行光刻、显影、去胶、溅射和电铸，得到具有多个生物芯片的微纳米流道结构的母盘；对所述母盘进行线切割，得到单个生物芯片的电铸模切割块，所述电铸模切割块包括一个微纳米流道结构；对第二基板依次进行机械加工、电火花加工和线切割，制得所述电铸模切割块的第一固定板；对第三基板依次进行机械加工、电火花加工和线切割，制得所述电铸模切割块的第二固定板；对所述第一固定板、所述电铸模切割块和所述第二固定板进行组合，形成组合件；通过紧固件将所述组合件固定在模具底板上，得到所述模具模芯；其中，所述模具模芯用于制造生物芯片基片和生物芯片盖片。