[发明专利]一种竖直放置式镀膜夹具有效
| 申请号： | 201510015529.5 | 申请日： | 2015-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN104532204B | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 周子夜;樊俊琪;冯忠毅;王宏桥;陈东红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种竖直放置式镀膜夹具，该镀膜夹具主部件为一个夹具主体，夹具主体为环状壳体，其内腔用于放置待镀膜的反射镜，反射镜待镀膜面朝下放置。夹具主体上面，设置有三个120°均布的螺纹孔，三个螺纹孔与镀膜机工作台面相连接；夹具主体上面还设置有三个120°均布的挡片，以避免反射镜在镀膜过程中从镀膜夹具内脱落。夹具主体内侧面有三个120°均布的圆弧形垫块，垫块的外圆弧面与夹具主体内腔轮廓相匹配，内圆弧面与反射镜外径轮廓相匹配；在夹具主体侧面有6个顶丝呈放射状分布，用于调节垫块与反射镜的间隙以夹紧反射镜。本发明解决了镜体竖直放置式镀膜机镀制刚度较差的反射镜面形精度差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 竖直 放置 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
一种竖直放置式镀膜夹具，其特征在于：该竖直放置式镀膜夹具包括一个夹具主体(2)、三个圆弧形垫块(5)、圆弧形细槽(503)内镶嵌的若干真空橡胶棒(6)和三个挡片(4)；所述夹具主体(2)为环状壳体，其内腔用于放置待镀膜的反射镜(1)；夹具主体(2)侧面有三个120°均布的圆弧形垫块(5)；夹具主体(2)放置圆弧形垫块(5)的部分还设置有六个安装顶丝(3)的螺纹孔(203)，六个螺纹孔(203)轴线与夹具主体(2)内腔圆心相交；夹具主体(2)放置圆弧形垫块(5)的侧面中间部分还设置有圆孔(201)，夹具主体(2)未放置圆弧形垫块(5)的侧边部分开有深槽(202)，以减轻重量从而减小镀膜夹具整体的转动惯量；夹具主体(2)上面，即反射镜(1)待镀膜面的背面，设置有三个120°均布的螺纹孔(206)，三个螺纹孔(206)与镀膜机工作台面相连接；夹具主体(2)上面还设置有三个120°均布的放置挡片(4)的细槽(204)，挡片(4)通过螺纹孔(207)固定在细槽(204)内，以避免反射镜(1)在镀膜过程中从夹具主体(2)内脱落；夹具主体(2)应选择铝合金或其他反射金属材料制造。
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