[发明专利]基于静压气浮解耦装置的三分量标准振动台有效
| 申请号： | 201510018711.6 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104614137A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 何闻;张旭飞;贾叔仕;周杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01M7/06 | 分类号： | G01M7/06 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 黄芳 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 基于静压气浮解耦装置的三分量标准振动台，包括底座，所述的底座上设有X轴向振动台和X轴向回复装置，Y轴向振动台和Y轴向回复装置，Z轴向振动台，和三维振动平台；X轴向振动台隔着三维振动平台与X轴向回复装置相对，Y轴向振动台隔着三维振动平台与Y轴向回复装置相对；X轴向振动台和Y轴向振动台分别与各自的振动台侧静压气浮板固定，振动台侧静压气浮板与三维振动平台之间有能形成气膜的间隙；X轴向回复装置和Y轴向回复装置分别由各自的复位弹簧和弹簧侧静压气浮板组成；Z轴向振动台与Z轴向气浮解耦装置固定，Z轴向气浮解耦装置与三维振动平台之间有能形成气膜的间隙。本发明具有承载力大、支撑稳定且支撑均匀性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 静压 气浮解耦 装置 分量 标准 振动 | ||
【主权项】：
基于静压气浮解耦装置的三分量标准振动台，包括底座，所述的底座上设有X轴向振动台和X轴向回复装置，Y轴向振动台和Y轴向回复装置，Z轴向振动台，和三维振动平台；其特征在于：X轴向振动台隔着三维振动平台与X轴向回复装置相对，Y轴向振动台隔着三维振动平台与Y轴向回复装置相对；X轴向振动台和Y轴向振动台分别与各自的振动台侧静压气浮板固定，振动台侧静压气浮板与三维振动平台之间有能形成气膜的间隙；X轴向回复装置和Y轴向回复装置分别由各自的复位弹簧和弹簧侧静压气浮板组成，复位弹簧与弹簧侧静压气浮板固定；Z轴向振动台与Z轴向气浮解耦装置固定，Z轴向气浮解耦装置与三维振动平台之间有能形成气膜的间隙。
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