[发明专利]一种用于密闭反应室的自净化系统有效
| 申请号： | 201510018754.4 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN104645914B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 吕立平;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 曾少丽 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市湖*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于密闭反应室的自净化系统，密闭反应室包括一个主箱体，主箱体内开设上腔体和下腔体，上腔体与下腔体通过一隔板隔开，隔板上开设一通风孔；主箱体外侧开设送风口和抽风口；自净化系统包括控制箱、过滤箱、风机、送风法兰、抽风法兰和电控风阀；风机安装在隔板下沿并与通风孔对接，主箱体的上腔体顶部与下腔体底部均安装过滤箱；送风法兰安装在主箱体的送风口，抽风法兰内置一电控风阀，抽风法兰安装在主箱体的抽风口；控制箱安装在主箱体外部；风机和电控风阀均与变频控制器电连接；本发明应用于碳化硅外延生长的密闭反应室，能够快速有效的清理反应室腔体内的细小颗粒，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 密闭 反应 净化系统 | ||
【主权项】：
一种用于密闭反应室的自净化系统，其特征在于：密闭反应室包括一个主箱体，主箱体内开设上腔体和下腔体，上腔体与下腔体通过一隔板隔开，隔板上开设一通风孔；主箱体外侧开设送风口和抽风口；自净化系统包括控制箱、过滤箱、风机、送风法兰、抽风法兰和电控风阀；风机安装在隔板下沿并与通风孔对接，主箱体的上腔体顶部与下腔体底部均安装过滤箱；送风法兰安装在主箱体的送风口，抽风法兰内置一电控风阀，抽风法兰安装在主箱体的抽风口，送风法兰与上腔体顶部的过滤箱对应，抽风法兰与下腔体底部的过滤箱对应，抽风法兰与送风法兰通过一管道连接；控制箱内置一变频控制器，控制箱外部设有与变频控制器的电连接的电源指示灯、风机工作指示灯和阀门工作指示灯，控制箱安装在主箱体外部，控制箱外部还设有与控制器电连接档位工作开关，所述档位工作开关包括高速档位和低速档位；风机和电控风阀均与变频控制器电连接。
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