[发明专利]一种差分电容式一维位置矢量传感器有效
| 申请号： | 201510019220.3 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN104654993B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张钟华;白洋;鲁云峰;韩冰;李正坤;贺青 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 赵晓艾,章彦奇 |
| 地址： | 100029 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种差分电容式一维位置矢量传感器属于长度测量领域，该传感器包括由第一高压极板和第二高压极板组成的高压极板，指零极板，高压极板屏蔽，指零极板屏蔽和屏蔽窗口。高压极板与指零极板的相对位置固定并组成差分电容，屏蔽窗口位于高压极板与指零极板之间且与两极板平行。传感器工作过程中高压极板屏蔽，指零极板屏蔽和屏蔽窗口接地，屏蔽窗口可相对于差分电容极板运动。差分电容的输出仅对平行于差分电容极板这一维度的位置矢量变化敏感且与其呈线性关系，差分电容输出为0的位置为该传感器的零点。该传感器结构简单，具有较强的抗干扰能力，测量分辨力优于0.1μm。 | ||
| 搜索关键词： | 种差 电容 式一维 位置 矢量 传感器 | ||
【主权项】：
一种差分电容式一维位置矢量传感器，包括第一高压极板、第二高压极板、指零极板以及屏蔽窗口，第一高压极板、第二高压极板与指零极板之间形成差分电容，其特征在于：第一高压极板、第二高压极板与指零极板之间设有屏蔽窗口；所述屏蔽窗口在中央设有开口；屏蔽窗口可相对于差分电容运动；第一高压极板、第二高压极板与指零极板平行，屏蔽窗口与第一高压极板、第二高压极板以及指零极板平行。
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