[发明专利]一种平面铌靶材的制备方法在审
申请号: | 201510020338.8 | 申请日: | 2015-01-16 |
公开(公告)号: | CN104593708A | 公开(公告)日: | 2015-05-06 |
发明(设计)人: | 李桂鹏;汪凯;张春恒;同磊 | 申请(专利权)人: | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
主分类号: | C22F1/18 | 分类号: | C22F1/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 753000 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明提供了一种平面铌靶材的制备方法,包括以下步骤:A),将铌锭进行锻造,所述锻造的方式为径向打方轴向拔长;将锻造后的铌锭进行酸洗,将酸洗后的铌锭进行热处理;B),将步骤A)得到的铌锭进行锻造,所述锻造的方式为压扁锻造;将锻造后的铌锭进行酸洗,将酸洗后的铌锭进行热处理;C),将步骤B)得到的铌锭进行轧制,将轧制后的铌板进行热处理,得到平面铌靶材。本申请通过锻造与轧制的加工方式,使铸锭中的柱状晶区、中心等轴晶区和铌锭边缘附近的细晶区实施了有效破碎,同时通过中间热处理与成品热处理,使铌靶材组织更加均匀,得到了均匀细致的等轴晶组织。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 铌靶材 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种平面铌靶材的制备方法,包括以下步骤:A),将铌锭进行锻造,所述锻造的方式为径向打方轴向拔长;将锻造后的铌锭进行酸洗,将酸洗后的铌锭进行热处理;B),将步骤A)得到的铌锭进行锻造,所述锻造的方式为压扁锻造;将锻造后的铌锭进行酸洗,将酸洗后的铌锭进行热处理;C),将步骤B)得到的铌锭进行轧制,将轧制后的铌板进行热处理,得到平面铌靶材。
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