[发明专利]一种防划伤硅棒检测垫在审
| 申请号： | 201510021558.2 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104655165A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 王德明;孔德雷;刘晓慧;吴健;吴晓燕 | 申请（专利权）人： | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种防划伤硅棒检测垫，包括橡塑基材和橡塑凸点，橡塑凸点设置在橡塑基材的上表面上，相邻两个橡塑凸点之间的距离为2～30毫米，橡塑凸点的直径为3～20毫米，橡塑凸点的外露表面为弧形面。由于在橡塑基材上设置了橡塑凸点，待检硅棒放置在检测垫上时，即使检验台上存有微小固体硬质颗粒，只要固体颗粒尺寸小于橡塑凸点的高度都不会对硅棒表面产生任何伤害，因为碎屑等固体颗粒会自动掉落在橡塑凸点下方的橡塑基材上，不会与硅棒表面接触，因此能杜绝硅棒在检测工序产生表面划伤现象，保证了硅棒表面质量，从而降低了硅片生产企业的质量损失，经济效益和社会效益都十分显著。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 划伤 检测 | ||
【主权项】：
一种防划伤硅棒检测垫，其特征是：包括橡塑基材(1)和橡塑凸点(2)，橡塑凸点(2)设置在橡塑基材(1)的上表面上，相邻两个橡塑凸点(2)之间的距离为2～30毫米，橡塑凸点(2)的直径为3～20毫米，橡塑凸点(2)的外露表面为弧形面。
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