[发明专利]硅片导向机构、可夹紧石英舟的夹具及硅片装卸系统

摘要

本发明实施例提供的硅片导向机构、可夹紧石英舟的夹具及硅片装卸系统，可以通过导条推进气缸推进进片导条，通过进片导条引导硅片对准石英舟底棒的齿槽。由于进片导条的锯齿状一侧的锯齿的齿尖间距大于所述石英舟的底棒的锯齿的锯齿齿尖间距，因此当硅片的位置出现偏移时，本发明可以将其引导回与石英舟底棒的齿槽相对的位置。本发明可以有效引导硅片对准石英舟底棒的齿槽，从而避免硅片破损。

主权项

1.一种硅片导向机构，其特征在于，适应于石英舟，所述硅片导向机构包括：导条推进气缸及设置于所述导条推进气缸的活塞杆上的进片导条；所述进片导条朝向所述石英舟内部的一侧为锯齿状，所述进片导条与所述石英舟的底棒平行，所述进片导条朝向所述石英舟内部的一侧的锯齿的齿距与所述石英舟的底棒的锯齿的齿距相同，所述进片导条朝向所述石英舟内部的一侧的锯齿的齿槽中心线与所述石英舟的底棒的锯齿的齿槽中心线在同一平面，所述进片导条的锯齿状一侧的锯齿的齿尖间距大于所述石英舟的底棒的锯齿的齿尖间距；所述导条推进气缸带动所述进片导条移动，以推进所述进片导条或收回所述进片导条，在所述导条推进气缸推进所述进片导条时，所述进片导条越过所述石英舟的底棒进入所述石英舟内部，在所述导条推进气缸收回所述进片导条时，所述进片导条越过所述石英舟的底棒离开所述石英舟内部。