[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底的回收方法在审
| 申请号： | 201510021864.6 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN105845786A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 胡红坡;刘英策;袁述 | 申请（专利权）人： | 广东量晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 苗青盛 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，包括以下步骤：在氮气和/或氢气的气氛下，对LED外延片进行高温烘烤，去除图形化蓝宝石衬底上的外延层；使用氢氧化钾溶液和/或氢氧化钠溶液，对高温烘烤后的图形化蓝宝石衬底进行腐蚀；使用超纯水对腐蚀后的图形化蓝宝石衬底进行清洗，从而得到能够重新使用的图形化蓝宝石衬底，极大地提高了图形化蓝宝石衬底的利用率，进而降低了LED芯片的生产成本。此外，该方法简单易行，安全方便，回收周期短，效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 衬底 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：在氮气和/或氢气的气氛下，对LED外延片进行高温烘烤，去除图形化蓝宝石衬底上的外延层；使用氢氧化钾溶液和/或氢氧化钠溶液，对高温烘烤后的图形化蓝宝石衬底进行腐蚀；使用超纯水对腐蚀后的图形化蓝宝石衬底进行清洗。
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