[发明专利]一种钽靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201510021983.1 | 申请日： | 2015-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN104741872B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 李桂鹏;陈林;郑爱国;汪凯;李兆博;同磊;宿康宁 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钽靶材的制备方法，包括以下步骤A)将钽锭进行冷旋锻，将冷旋锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；B)将步骤A)得到的钽锭进行三次镦粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；C)将步骤B)得到的钽锭进行三次墩粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；D)将步骤C)得到的钽锭进行热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；E)将步骤D)得到的钽锭进行轧制，将轧制后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理，得到钽靶材。本申请通过热锻与热轧相配合，得到了符合半导体使用要求的内部组织织构均匀的高性能钽靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钽靶材的制备方法，包括以下步骤：A)，将钽锭进行冷旋锻，将冷旋锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；B)，将步骤A)得到的钽锭进行三次轴向镦粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；C)，将步骤B)得到的钽锭进行三次三向墩粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；D)，将步骤C)得到的钽锭进行一次轴向墩粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；E)，将步骤D)得到的钽锭进行十字交叉轧制，将轧制后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理，得到钽靶材。
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