[发明专利]可实现样品变温的接触式表面轮廓仪

摘要

可实现样品变温的接触式表面轮廓仪，在支撑座上设有样品台；样品台与支撑座之间有驱动样品台在平行于支撑座方向上移动的平移驱动机构；在样品台上方设有通过支架支撑的探针架，探针设在探针架上，探针架上设有驱动探针在垂直于样品台方向上运动的机构；样品台上设有基座，在基座内设有与温控仪相接的加热件；在加热件的上方设有温控板，温控板上镶嵌有与温控仪相接的温度传感器；在温控板的上方有左、右壳体，左、右壳体刚好夹持在探针架的两侧，使温控板上方形成封闭内腔；内腔通过泵管、阀门与真空泵相接。结构简单，可进行温度控制，测量精度高，易于操作。

主权项

一种可实现样品变温的接触式表面轮廓仪，包括支撑座（1），在支撑座（1）上设有样品台（2）；样品台（2）与支撑座（1）之间设有驱动样品台（2）在平行于支撑座（1）方向上移动的平移驱动机构；在样品台（2）的上方设有通过支架（21）支撑的探针架（10），探针（9）设置在探针架（10）上，探针架（10）上设有驱动探针（9）在垂直于样品台（2）方向上运动的机构；其特征在于：所述的样品台（2）上设有基座（3），在基座（3）内设有与温控仪（20）相接的加热件（4）；在加热件（4）的上方设有温控板（5），温控板（5）上镶嵌有与温控仪（20）相接的温度传感器（7），温控板（5）上有导线走线槽（8）；在温控板（5）的上方有左壳体（11）和右壳体（12），左壳体（11）和右壳体（12）刚好夹持在探针架（10）的两侧，使温控板（5）上方形成封闭的内腔（22）；所述的内腔（22）通过泵管（18）、阀门（17）与真空泵（19）相接；在左壳体（11）或右壳体（12）上设有摄像头（14）和进气阀（15）。