[发明专利]一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置和方法在审
| 申请号： | 201510023158.5 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN105842484A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘连庆;李鹏;李广勇;王越超;杨洋;周磊;王栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/44 | 分类号： | G01Q60/44 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置，包括信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器、探针、XY纳米平台和Z向纳米压电陶瓷；所述信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器依次连接；方法包括：信号发生器输出交流信号到膜片钳放大器；调节膜片钳放大器的补偿电容值；有效值转换电路计算出电流幅值的有效值，并将幅值有效值反馈至控制器，控制器根据该幅值有效值实时控制探针高度，实现样品的扫描。本发明使用交流电流幅值作为反馈值，因此能克服直流模式下直流漂移、易受电气噪声影响等缺点；具有比传统交流模式更高的调制频率，可实现加快扫描的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sicm 幅度 调制 成像 模式 扫描 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置，其特征在于：包括信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器、探针、XY纳米平台和Z向纳米压电陶瓷；所述信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器依次连接；所述膜片钳放大器与探针连接；探针固定于Z向纳米压电陶瓷上并位于XY纳米平台上方；所述控制器与XY纳米平台、Z向纳米压电陶瓷连接。
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